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SJ6000工業激光干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。測量分辨率0.01″,系統測量精度為±1″,基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。
SJ6000工業激光干涉儀的靜態測量軟件可以將線性測量結果生成誤差補償表,該表涵蓋了各個測量點的補償值,運動控制系統制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差,精確的補償,可以有效地降低運動軸的位置誤差。線性測量中目標位置的數據采集有基于位置的目標采集和基于時間的目標采集兩種方式,普遍采用基于位置的目標采集方式,即:被測運動軸需設定若干個等距的定位點,當運動軸移動到設定的定位點時,需設置停留時間,以供SJ6000測量軟件進行當前點的數據采集。
功能廣
(1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;
(4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
(5)具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;
(6)支持手動或自動進行環境補償。
測量軟件
(1)友好的人機界面;
(2)豐富的應用功能模塊;
(3)向導式的操作流程;
(4)簡潔化的記錄管理;
(5)支持中文、英文和俄文界面;
(6)支持企業專屬模板定制。